本文主要講解關(guān)于硅片超聲波清洗機的主要應(yīng)用

更新時間：2025-06-30

點擊次數(shù)：195

　　硅片超聲波清洗機是一種用于半導體制造和光伏電池生產(chǎn)中硅片表面污染物清除的工業(yè)級設(shè)備。其主要功能是通過超聲波技術(shù)去除硅片表面的有機物、顆粒、金屬雜質(zhì)及氧化層等污染物，同時保持晶片表面特性不受損‌。

　　硅片超聲波清洗機利用超聲波在液體中傳播時產(chǎn)生的壓強波動，形成微小氣泡并在瞬間崩潰時釋放出強烈沖擊力，將污物從硅片表面剝離‌。適用于帶有復雜幾何形狀的硅片‌。

　　硅片超聲波清洗機廣泛應(yīng)用于半導體制造過程中的硅片晶圓及相關(guān)器皿的表面污染物清除，適用于擴散前、光刻后、氧化前等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的清洗需求‌。在光伏電池生產(chǎn)中，該設(shè)備以其微米級的清洗精度和智能化的工藝控制，成為硅片制造環(huán)節(jié)的關(guān)鍵裝備，能夠有效去除切割損傷層、微米級雜質(zhì)及有機物污染‌。

　　硅片超聲波清洗機的工作原理‌主要依賴于‌超聲波空化效應(yīng)‌。當超聲波發(fā)生器產(chǎn)生高頻振動時，清洗液中的氣泡會迅速膨脹并破裂，這個過程會產(chǎn)生瞬時高溫和高壓沖擊波，從而剝離硅片表面的污染物‌。具體來說，超聲波空化效應(yīng)在清洗液中產(chǎn)生數(shù)百萬個微小氣泡，這些氣泡在破裂時會釋放出大的能量，有效去除硅片表面的顆粒、殘留光刻膠或氧化層‌。

　　硅片超聲清洗機的核心原理基于超聲波空化作用：

　　超聲波發(fā)生器產(chǎn)生高頻電信號(頻率范圍通常為20kHz-120kHz)，通過換能器轉(zhuǎn)化為機械振動，在清洗液中形成無數(shù)微小氣泡。

　　氣泡在聲壓作用下快速膨脹并破裂，產(chǎn)生局部高溫(約5000K)和高壓(約1000atm)，形成沖擊波，剝離硅片表面的有機物、顆粒、金屬雜質(zhì)及自然氧化層。

　　高頻超聲(40kHz以上)適用于小顆粒污垢清洗，避免損傷硅片表面；低頻超聲(20-40kHz)則更適合去除頑固污染物。