硅片甩干機的電氣系統及邏輯控制電路部分

　　·采用變頻器調速，使速度變換溫度；

　　·采用plc控制所有的操作可靠，所有故障都一目了然；

　　·程序設計可靠，能滿足上述功能要求，并且有報警提示；

　　·速度調節，溫度調節，每道程序的運行時間都可以調整；

　　·高溫加熱與低溫加熱器導線采用高溫線。

　　硅片甩干機在工作過程中執行下面四個動作：

　　1.復位待機。機器通電后，機器初始化復位，等待接受運行指令。

　　2.噴淋清洗。機器接受到START指令，甩干桶按照設定的速度轉動設定的時間，同時噴淋管噴出高純水清洗硅片表面。

　　3.甩干。噴淋結束，甩干機進入甩干階段，甩干桶按照設定的速度轉動設定的時間，同時甩干機加熱器加熱高純N2,并噴向硅片，去除硅片表面水分，達到甩干的效果。

　　4.甩干時間到，甩干桶停止供電。啟動剎車動作。

　　5.停止。甩干桶*停止轉動，機器回到復位待機狀態。

　　6.機器在運行過程中，如果遇到特殊情況，按動STOP按鈕，機器馬上停止轉動，進入復位待機狀態。