有關旋干機關鍵技術的解決途徑

　　旋干機利用旋轉離心力的方式進行去離子水沖洗、熱氮氣烘干，DI水電阻率監控、氮氣加溫、防靜電控制以及系統潔凈化處理來達到高潔凈度的片子清洗效果。設備由主機、相互獨立的工作腔體、片架載體、去離子水、氮氣控制系統，以及PLC控制和操作系統組成。
　　良好的旋干機是集流體、流體控制、精密機械、潔凈化處理、新材料、計算機控制、半導體工藝技術為一體的綜合系統技術整合。這些技術和單元所采用的關鍵技術及解決途徑主要體現在以下方面：
　　1、潔凈化處理技術
　　良好的旋干機屬高潔凈度要求下的“微特征”控制設備。因此，設備的潔凈化處理是系統內各功能單元、部件、材料、加工工藝等眾多環節所要考慮的重要問題。
　　2、大功率無刷電機驅動
　　大功率無刷電機是設備的核心部件之一，國內廠家共同合作開發、研制600W無刷伺服電機及配套驅動器，轉速范圍zui大3000rpm，解決設備的旋轉驅動技術。
　　3、沖洗工作腔體采用耐腐蝕不銹鋼分體焊接加工而成。重點解決了：腔體成型加工工藝；不銹鋼表面防護與焊接技術；惰性處理工藝。
　　4、轉軸氮氣密封技術
　　片子在旋干機沖洗甩干腔內工作時，要有一個密閉而潔凈的環境空間，轉軸處的密封即是隔離與腔體之間聯接的通道。
　　5、去離子水控制
　　根據相關指標、要求，在給定壓力、流量的條件下，必須達到要求的沖洗水流效果。同時可對水的電阻率值進行實時監控測量，以判斷和給定相關工藝參數和工藝時序。