全自動硅片甩干機廠家

產(chǎn)品簡介
全自動硅片甩干機LCS系列立式旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機本機是主要應(yīng)用于太陽能電池和半導(dǎo)體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié)，具有容量大、效率高的特點。

產(chǎn)品型號：LCS系列

更新時間：2025-03-27

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

半導(dǎo)體電子設(shè)備

全自動硅片（晶片）超聲波清洗機硅片甩干機單槽分體式超聲波清洗機四槽半自動超聲波清洗機半自動超聲波清洗機全自動陶瓷盤超聲波清洗機硅片擴(kuò)散超聲波清洗機 MESA/SC晶片清洗設(shè)備晶片腐蝕清洗機外延片（硅片）腐蝕清洗機立式旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機濕法腐蝕清洗系統(tǒng) 硅材料清洗旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機

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全自動硅片甩干機是一種專門用于半導(dǎo)體制造過程中的高精密設(shè)備，主要用于清洗和干燥硅片。這種設(shè)備通過自動化的流程，能夠高效地去除硅片表面的水分和其他殘留物，確保硅片的清潔度和干燥度，從而滿足后續(xù)工藝的要求。

全自動硅片甩干機

主要特點：

1.彩色液晶觸摸屏實時監(jiān)控，可存儲多種工藝菜單

2.腔體和轉(zhuǎn)架采用316不銹鋼，電化學(xué)拋光處理

3.去離子水電阻率監(jiān)控功能

4.無刷電機驅(qū)動

5.氮氣溫度控制

6.轉(zhuǎn)軸氮氣密封

7.具有鎖蓋防護(hù)功能

8.故障診斷、顯示、報警功能

9.可提用戶特殊要求配置

全自動硅片甩干機采用高潔凈度的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能，能夠適應(yīng)不同直徑和形狀的片式材料的清洗需求。設(shè)備設(shè)計可以適應(yīng)不同直徑的硅片，包括方形和其他特殊形狀的材料。

設(shè)備采用全自動控制，包括去離子水沖洗和加熱的氮氣干燥，實現(xiàn)晶片襯底后的濕化學(xué)方法的自動化處理。具備多項技術(shù)性能指標(biāo)，如電源電壓、頻率、功率、絕緣電阻等，確保操作的安全性和穩(wěn)定性

包括使用氮氣和去離子水的相關(guān)安全性技術(shù)要求，如壓力、耗量、接口管徑和過濾精度等部分設(shè)備采用PLC和觸摸屏控制，實現(xiàn)整個過程的智能化，具有故障實時顯示和報警功能。設(shè)備設(shè)計考慮了節(jié)能和效率，如整個甩干過程一般只需5-6分鐘。主要部件采用耐腐蝕不銹鋼，并進(jìn)行電化學(xué)拋光處理，以提高設(shè)備的耐用性和清潔度。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)經(jīng)過精密動平衡處理，保證工作時的平衡性，并采用特種減振器以實現(xiàn)精密減振和阻尼。
設(shè)備支持多種硅片規(guī)格、不同尺寸的掩模，滿足不同應(yīng)用需求。

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